電源装置の製品紹介
半導体製造装置に必要な電源装置などの製作を担当しています。
当社で製造した製品は、半導体デバイス、フラットパネル、ソーラーパネルなどが作られる装置に組み込まれています。
RFジェネレータ
フラットパネルやソーラーパネルを製造するうえで重要なシステムである高周波発振器です。
マッチングボックス
RFジェネレータと合わせて使用する装置でRF電力をプラズマ負荷に効率よく注入するための整合器です。
高圧DC電源
半導体製造装置、フラットパネル、ソーラーパネルなどの製造プロセス用直流電源です。